Кудрявцев Е.Н.

 Способ выделения перхлорвиниловой смолы из раствора в хлорорганическом растворителе, включающий распыление раствора в циркулирующую в высадительной колонне воду и обработку водяным паром, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности способа и снижения содержания растворителя в получаемой крошке смолы, раствор смолы приводят в контакт на 0,02 - 0,8 с с водяным паром с темпер...

 Изобретение относится к позитивным фоторезистам и может быть использовано в фотолитографических процессах при изготовлении интегральных схем в микроэлектронике, радиоэлектронике. Предложен позитивный фоторезист, содержащий, мас.%: крезолформальдегидную новолачную смолу 60 - 66,5; диэфир 1,2 - нафтохинодиазид-(2), 5 - сульфокислоты и 2,4 - диокисибензофенона 30 - 33; органическое соединени...