Паутов Илья Юрьевич (RU)

Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий, в частности к устройству для контроля толщины покрытий в процессе нанесении их в вакууме, и может быть использовано в приборостроении, электронной промышленности и машиностроении для контроля толщины покрытий при нанесении их в вакууме. Устройство содержит, по крайней мере, один контрольный образец, регулируемый источник...