Зиновьев Дмитрий Валерьевич (RU)

Использование: в кремниевой технологии для получения структур полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: в способе газофазного наращивания эпитаксиальных слоев кремния в каждом ряду подложек создают температурный градиент, при котором верхняя часть подложек каждого ряда нагрета на 10 К меньше, чем нижняя, рост ведется при температуре, на 10-20 К меньшей, чем температура предварительного тра...

Изобретение относится к кремниевым резонаторам. Техническим результатом изобретения является повышение КПД, расширение диапазона частот и амплитуды колебаний а также повышение чувствительности и точности микрорезонатора. Микрорезонатор с термическим возбуждением содержит опорную рамку и колебательное тело в виде кремниевой балки с резистивным нагревателем. Кремниевая балка выполнена длиной 5-10 мм...

Изобретение относится к области измерительной техники. Конденсационный гигрометр содержит слой окисленного пористого кремния на монокристаллической подложке, систему встречно-штыревых электродов и металлических контактов к ней. Поры в окисленном пористом кремнии имеют коническую, расширяющуюся к поверхности форму, а электроды, изолированные окислом, выполнены из поликремния и заглублены в тело мон...

Изобретение относится к измерительной технике, более конкретно к устройству измерения перемещений, имеющих большое значение в робототехнике, прецизионных механизмах при эксплуатации сооружений и металлоконструкций и т.д. В качестве датчика перемещений используется кремниевый монокристаллический микронагреватель, а измеряемым сигналом служит величина тепловых потерь от микронагревателя к приемнику...