Агрич Юрий Владимирович

  ОПИСАНИЕ ИЗОЬРКТКНИД К ПАТЕНТУ Комитет Российской Федерации he иатентам н товарным знакам (21) 5003641/25 (22) 11.0?91 (46) 15.11.93 Бюл. Na 41-42 (76) Агоич-Юрий Владимирович; Лифшиц Вадим Беневич; Иванковский Максим Максимович (54) КМОП-ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА С ПОЛИКРЕМЙИЕВЫМИ ЗАТВОРАМИ (57) Использование: изобретение относится к микроэлектронике и может быль использовано в д...

 Использование: в аналоговых и аналого-цифровых интегральных схемах. Сущность: в способе, включающем формирование на покрытой диэлектриком полупроводниковой подложке слоя высоколегированного затворного поликремния, удаление слоя затворного поликремния с участков размещения резисторов, осаждение слоя резистивного поликремния и его легирование, формирование рисунка затворов и резисторов фото...

 Изобретение относится к конструированию прецизионных интегральных поликремниевых резисторов и может быть использовано в аналоговых и аналого-цифровых интегральных схемах (ИС). За счет экранирования резистивного поликремния от подложки локальными экранами из проводящего материала достигается эффект повышения точности воспроизведения сопротивлений и отношения сопротивлений интегральных поли...