PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Кирюхин Юрий Борисович (RU)

Изобретатель Кирюхин Юрий Борисович (RU) является автором следующих патентов:

Эуф источник с вращающимися электродами и способ получения эуф излучения из газоразрядной плазмы

Эуф источник с вращающимися электродами и способ получения эуф излучения из газоразрядной плазмы

Использование: для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения из газоразрядной плазмы. Сущность: заключается в том, что в качестве электродов использованы два дискообразных элемента, центральные оси симметрии которых совмещены с осью вала, периферийная часть поверхности, по крайней мере, одного из электродов покрыта слоем легкоплавкого металла, и введена система подачи легкоплавког...

2278483