Гаврилюк Василий Васильевич (RU)

Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к способам измерения отклонения консоли зонда сканирующего зондового микроскопа (СЗМ), оснащенного оптическим объективом для наблюдения исследуемой области образца. Формирование луча от источника света, направление его через оптический объектив на отражающую поверхность консоли зонда, получение с использованием оптического...