Неволин В.К.

 Изобретение относится к технологии изготовления элементов интегральных схем, к способу формирования микропроводников высокой проводимости. Способ позволяет повысить технологичность за счет снижения температуры формирования микропроводников. Формируют микропроводники путем подачи постоянного напряжения между поверхностью подложки с эпоксидной смолой и погруженным в нее игольчатым электродо...

  Использование: при изготовлении элементов интегральных схем. Сущность изобретения: включает подачу постоянного напряжения между поверхностью подложки с эпоксидной смолой и погруженным в нее игольчатым электродом, перемещение электрода к подложке до возникновения туннельного тока, повышение напряжения при неподвижном электроде до появления тока короткого замыкания, отведение электрода от...

 Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для контроля качества проводящих пленок. Сущность изобретения: качество пленки определяют на основании величины измеренного фликкер-шума, тока проходящего через пленку и измеренного с помощью иглы растрового туннельного микроскопа. 1 ил. Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано для к...

 Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для определения неоднородности пленок. Сущность изобретения: при определении неоднородности пленки используют туннельный микроскоп, при этом к переходу игла-пленка-подложка одновременно с постоянным напряжением прикладывают переменное напряжение, а о неоднородности пленки судят по величине туннельного тока. 1 ил. Изобре...

 Использование: изобретение относится к технике измерений и может быть использовано в исследовательских и технологических установках для контроля рельефа поверхности образцов и локального воздействия на них. Сущность изобретения: устройство содержит жесткозакрепленный на цилиндрическом держателе пьезоманипулятор с измерительной иглой, верхняя часть которого через упругий элемент прикреплен...

 Устройство для управления туннельным током и зазором содержит источник напряжения, пьезоэлемент, жестко закрепленный на нем зонд и клемму для подключения образца, формирующего совместно с зондом туннельный зазор, отличающееся тем, что устройство дополнительно содержит постоянный резистор, подключенный параллельно пьезоэлементу, включенному между зондом и источником напряжения, подключенны...