Чапыгин Анатолий Михайлович (RU)

Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве полупроводникового кремния для получения трихлорсилана, являющегося исходным сырьем для получения полупроводникового кремния. Способ получения трихлорсилана включает: синтез хлористого водорода, синтез трихлорсилана с получением трихлорсилана в парогазовой смеси, содержащей также тетрахлорид кр...