Асваров Абил Шамсудинович (RU)

Способ предназначен для изготовления керамики, используемой в качестве мишеней при магнетронном, электронно-лучевом и иных методах распыления в микро-, опто- и наноэлектронике. Способ синтеза керамики включает в себя нанесение на поверхность порошка основного компонента слоя легирующего металла путем перетирания смеси компонентов при температуре плавления легирующего металла, прессование и спекани...

Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначен для магнетронного, электронно-лучевого и других методов нанесения пленок в микро-, опто-, наноэлектронике. Способ нанесения оксидных пленок заключается в том, что материалы доставляются к поверхности роста в дозированном количестве. На поверхность роста подают поток металла, а нанесение производят магнетронным методом одновре...

Предложен способ синтеза керамики оксида цинка, предназначенной для использования в качестве керамических мишеней для магнетронного, электронно-лучевого и других методов нанесения прозрачных проводящих пленок. Спекание спрессованной смеси порошка оксида цинка с легирующими добавками, по крайней мере на первом этапе, производят при избыточном парциальном давлении цинка над парциальным давлением ки...

Способ может быть использован при изготовлении узлов, содержащих расходуемую или сменную деталь и основание, изготовленные из материалов с разным коэффициентом термического расширения, например, для закрепления расходуемой керамической мишени на металлическом основании в установках магнетронного распыления. На поверхность основания припаивают высокотемпературным припоем слой, содержащий углеродны...

Изобретение относится к технологии изготовления микросхем и микроэлектромеханических приборов. Сущность изобретения: способ изготовления микроприбора включает процедуры, в которых структуру прибора или его части формируют в одном материале, а затем преобразуют (конвертируют) этот материал в другой материал путем химического или структурного преобразования. Предложен, например, способ изготовления...

Изобретение относится к печи для термообработки керамических изделий. Печь содержит термоизолированный объем с высокотемпературной зоной, средства нагрева и средства поддержания и/или изменения температуры по заданной программе, одну или несколько съемных помещаемых в высокотемпературную зону герметичных кассет для обрабатываемого материала или изделия и средства для независимой загрузки-выгрузки...

Изобретение относится к способу получения материалов на основе сложного оксида Y(BaxBe1-x)2Cu3O7-δ с широким спектром электрических свойств от высокотемпературных сверхпроводников до полупроводников, которые могут быть использованы в микроэлектронике; электротехнике; энергетике, например для получения пленок методами нанесения покрытий и катодного распыления мишеней из этого материала; проводник...

зобретение относится к области производства керамических материалов и предназначено для изготовления мишеней, являющихся источником материала для магнетронного, электронно-лучевого, ионно-лучевого и других методов нанесения пленок в микро-,опто- и наноэлектронике. В соответствии с заявленным способом изготовления композиционной мишени смесь, содержащую порошок оксида цинка и порошок металлическо...

Изобретение относится к области тонкопленочной технологии, а именно к технологии получения прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, легированного галлием или алюминием. На подложке формируют промежуточный и основной слои на основе оксида цинка, легированного галлием или алюминием. Промежуточный слой формируют с концентрацией легирующего компонента в интервале от значения, которое сов...

Мишень для ионно-плазменного распыления выполнена на основе оксида металла и содержит углерод. Концентрация углерода в мишени выбрана из условия обеспечения при температуре распыления теплового эффекта от экзотермической реакции при окислении углерода кислородом оксида металла и свободным кислородом в зоне распыления, меньшего интегрального теплоотвода в упомянутой зоне, и составляет...

Изобретение относится к области измельчения различных материалов сложного состава, в частности диспергирования сложных неорганических соединений. Материал размалывают в атмосфере заданного состава. Материал в процессе размалывания облучают излучением. Излучение содержит фотоны с энергией от 0,9E до 1,1E, где E - энергия активации десорбции по крайней мере одного компонента измельчаемого материал...

Изобретение относится к области газотермического формирования слоев и покрытий и предназначено преимущественно для изготовления мишеней для магнетронного, электронно-лучевого и ионно-лучевого распыления. Порошковый материал для газотермического нанесения содержит порошок, не менее чем на 50% массы состоящий из частиц, каждая из которых представляет собой гранулу размерами от 1,0 мкм до 100 мкм, со...