Тюленкова Ольга Ивановна (BY)

Изобретение относится к составам полирующих суспензий на основе диоксида кремния и может быть использовано при обработке пластин монокристаллического кремния. В состав полирующей суспензии, содержащей дистиллированную воду, дисперсный диоксид кремния и этилендиамин, дополнительно введена натриевая соль карбоксиметилцеллюлозы, в качестве дисперсного диоксида кремния используют диоксид кремния со ср...

Изобретение относится к составу стабилизирующей добавки, используемой для улучшения технологических характеристик шлифовальных суспензий на основе порошков окиси алюминия. Сущность: добавка содержит в мольных частях: вода: глицерин: тонкодисперсный диоксид кремния: карбоксиметилцеллюлоза - 1:0,085-0,1:0,0003-0,008:0,000001-0,00001. Технический результат - улучшение качества обработки пластин на оп...