Потапенок Янина Александровна (BY)

Изобретение относится к составам полирующих суспензий на основе диоксида кремния и может быть использовано при обработке пластин монокристаллического кремния. В состав полирующей суспензии, содержащей дистиллированную воду, дисперсный диоксид кремния и этилендиамин, дополнительно введена натриевая соль карбоксиметилцеллюлозы, в качестве дисперсного диоксида кремния используют диоксид кремния со ср...