Каткевич Валентин Николаевич (RU)

Изобретение относится к приборостроению, а именно технике радиоэлектронных устройств, и позволяет получать резистивные покрытия, работоспособные в широком интервале температур. Заявленный способ имеет преимущество перед известными простотой технологии получения и, следовательно, пониженными трудозатратами. Способ изготовления аморфного резистивного слоя включает ионно-плазменное распыление и конде...