Стенин С.И.

  Сущность изобретения: магнитопровод ввода жестко соединен с валом, установленным в подшипниках стакана, к дну которого прикреплен нагреватель с нагревательным элементом и вакуумными электровводами. Торец вала снабжен элементами крепления объекта. Стакан имеет жесткую связь с верхней кареткой столика, который обеспечивает качание объекта в двух взаимно-перпендикулярных направлениях по сфе...

 Использование: устройство для молекулярно-лучевой эпитаксии относится к вакуумной технике и может быть использовано в технологии получения тонкопленочных многослойных покрытий. Устройство содержит вакуумную технологическую камеру, размещенные в ней напротив подложки кольцевые рассеиватели, системы подачи паров материалов, соединяющие рассеиватели с источниками паров материалов, манипулято...