Шупегин Михаил Леонидович

 Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для создания изолирующих, защитных и маскирующих покрытий, а также в других областях техники для создания механически прочных и износостойких покрытий . Изобретение направлено на повышение качества покрытия, заключающееся в повышении адгезии покрытия к подложке. Способ получения алмазоподобных покрытий включает соз...

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для создания проводящих покрытий с уникальными механическими и термическими свойствами, высокой устойчивостью к химическим, электрохимическим воздействиям и воздействию окружающей среды, а также в других областях техники для создания механически прочных, износостойких и химически стойких функциональных и защитных покрытий....