Земцов Александр Евгеньевич (RU)

Изобретение относится к области газового анализа, в частности к детектирующим устройствам, применяемым для регистрации и измерения содержания микропримесей аммиака и других газов. Изобретение может быть использовано в экологии. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности и технологичности изготовления датчика. Сущность: в датчике, содержащем полупроводниковое основание...

Изобретение относится к области газового анализа, в частности к детектирующим устройствам, применяемым для регистрации и измерения содержания аммиака. Датчик содержит полупроводниковое основание и подложку. Основание выполнено из поликристаллической пленки сульфида кадмия, а подложкой служит электродная площадка пьезокварцевого резонатора. Изобретение обеспечивает повышение чувствительности при к...