Мартин Мюллер (CH)

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа, атомно-силового микроскопа и близкопольного оптического микроскопа. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством механической модификации пов...

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно, к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа. Технический результат изобретения заключается в повышении разрешения устройства. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством моди...