Беляев Алексей Владимирович (RU)

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа, атомно-силового микроскопа, близкопольного оптического микроскопа и др. Объект устанавливают на первом пьезосканере. Над исследуемой поверхностью объекта пом...

Изобретение относится к нанотехнологии, а именно к устройствам, обеспечивающим перемещение объекта в плоскости по двум координатам, и может быть использовано для перемещения образцов, носителей образцов, носителей зондов и других элементов в сканирующей зондовой микроскопии. Изобретение направлено на повышение быстродействия и точности измерений. Этот результат обеспечивается за счет того, что дву...