ЗАУЭР Петер (DE)

Изобретение относится к регулированию толщины слоя материала покрытия. Толщину слоя измеряют в нескольких точках по ширине полотна и регулируют установку для нанесения слоя таким образом, чтобы ширина слоя оставалась постоянной по ширине полотна. Регулирование толщины осуществляется за счет варьирования интенсивности электронных лучей, испаряющих материал покрытия. Также возможно по отдельности на...

Установка для нанесения покрытия состоит из нескольких расположенных последовательно друг за другом камер для нанесения покрытия, разделенных перегородками, свободные торцы которых расположены непосредственно над подложкой, которая перемещается из одной камеры в другую. На свободных торцах перегородок расположены измерительные устройства для измерения оптических свойств подложек. Технический резул...