Лифляндский Юрий Эдуардович (RU)

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для изготовления изделий акустоэлектроники, высокочастотных кварцевых резонаторов и монолитных кварцевых фильтров. Техническим результатом изобретения является повышение технологичности изготовления кварцевого кристаллического элемента с инвертированной мезаструктурой, уменьшение разброса по толщине в рабочей области. Способ включает...