Мочалов Георгий Михайлович (RU)

Изобретение относится к способам разделения смесей летучих веществ в процессах химической технологии и может быть использовано для разделения смесей хлорсиланов, гидридов, фторидов, органических продуктов и других продуктов с выделением целевого продукта. Способ включает фракционированную разгонку в ректификационной колонне периодического действия со средним питающим резервуаром. Колонна работает...

Заявляемое изобретение относится к способам очистки веществ и касается разработки способа глубокой очистки аммиака, используемого в технологии получения эпитаксиальных структур нитридов кремния, галлия, алюминия и других материалов, применяемых в опто- и микроэлектронике. Способ включает фильтрацию газообразного аммиака при температуре ниже 0°С, при давлении ниже 200 мм рт.ст. Поток аммиак...

Изобретение относится к химической промышленности и может быть использовано для получения силана и хлорсиланов. Трихлорсилан и смесь хлорсиланов контактируют с катализатором. Полученную смесь направляют в ректификационную секцию для выделения тетрахлорида кремния. Смесь хлорсиланов возвращают в реактор, расположенный на линии парового потока ректификационной секции. Процесс ведут при давлении в ин...