Приступчик Никита Константинович (RU)

Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности и технологичности. Сущность изобретения: в интегральный микромеханический акселерометр на основе туннельного эффекта, содержащий подложку, неподвижный электрод, инерционную массу,...

Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Акселерометр содержит подложку, четыре неподвижных электрода, инерционную массу, четыре подвижных электрода, четыре упругие балки, а также четыре якорных области подвеса, четыре вспомогательные пластины, четыре вспомогательных электрода, двенадцать обл...

Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Акселерометр содержит подложку 1, преобразователь перемещения 2, инерционную массу 3, активные области подвеса 4 и 9, пассивную область подвеса 5, неподвижный электрод 6, подвижный электрод 7, а также два дополнительных подвеса с активными областями 1...