Рыхлицкий Сергей Владимирович (RU)

Изобретение относится к поляризационной оптической технике и может быть использовано при изготовлении оптических устройств. Устройство содержит две фазосдвигающие пластины, снабжено корпусом, оправой и тремя сферическими пружинами. Первая фазосдвигающая пластина выполнена в корпусе и неподвижно зафиксирована сферической пружиной. Вторая фазосдвигающая пластина выполнена в оправе и зафиксирована вт...

Заявленное изобретение относится к эллипсометрам. Эллипсометр содержит осветитель, поляризатор, два измерительных, фазовый и амплитудный, оптически не связанных между собой, параллельных канала, причем указанные элементы оптически связаны с возможностью подачи светового пучка от осветителя к поляризатору, от поляризатора - на исследуемый образец и далее на измерительные каналы, снабжен размещенным...

Эллипсометр предназначен для оптико-физических измерений. В плече анализатора эллипсометра выполнен единый измерительный канал с функциями фазового и амплитудного каналов, с равным пропусканием поляризованных световых компонент. Канал содержит формирователь квазипараллельных световых пучков, компенсатор и поляризационный расщепитель пучков на поляризованные световые компоненты. Линейно поляризов...

Изобретение предназначено для оптико-физических измерений. Комплекс включает узел оптических измерений, систему нагрева исследуемых образцов, систему контроля температуры и вычислительный блок. Узел оптических измерений на базе быстродействующего эллипсометра снабжен микрообъективом для фокусировки зондирующего излучения на исследуемый образец, диафрагмой и светофильтром, предотвращающими попада...

Изобретение относится к технике оптико-физических измерений, а именно к эллипсометрии, и может быть использовано при неразрушающем контроле оптических параметров поверхности и тонких слоев пленок. Эллипсометр содержит поляризатор, подставку для исследуемого образца и фоторегистратор. Поляризатор выполнен в виде полупроводникового одномодового лазера с вертикальным резонатором со стабилизированной...