Мягков Игорь Вениаминович (RU)

Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к системам измерения емкости между зондом и образцом из металла или полупроводника, покрытого тонким слоем диэлектрика. Зонд состоит из консоли с укрепленной на одном ее конце иглой, закрепленной на чипе другой стороной. Зонд имеет проводящий слой на поверхности зонда со стороны иглы. Устанавливают проводящий экран, отделе...

Изобретение относится к устройствам механического перемещения объектов вдоль одной координаты. Оно может быть использовано, например, в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) для сближения зонда и образца. Технический результат заключается в повышении стабильности шага перемещения, а также в повышении надежности устройства. Инерционный шаговый двигатель содержит основание с закрепленным на нем пьез...

Изобретение относится к устройствам механического перемещения объектов вдоль одной координаты. Оно может быть использовано, например, в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) для сближения зонда и образца. Сущность изобретения заключается в том, что в инерционный шаговый двигатель, включающий основание, на котором первым концом закреплен первый пьезомодуль, соединенный вторым концом с первым концо...