Трегубов Генадий Антонович (RU)

Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к системам измерения емкости между зондом и образцом из металла или полупроводника, покрытого тонким слоем диэлектрика. Зонд состоит из консоли с укрепленной на одном ее конце иглой, закрепленной на чипе другой стороной. Зонд имеет проводящий слой на поверхности зонда со стороны иглы. Устанавливают проводящий экран, отделе...