Берёзкин Валерий Алексеевич (RU)

Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств. По величинам постоянных времени нагрева и остывания платинового тонкопленочного резистора, выполненного на диэлектрической мембране, расположенной на кремниевой рамке-основании, определяют скорость потока и задают скважность импульсов питания. В паузе между импульсами питания по величине сопротивления холодного резисто...

Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств и может быть использовано в качестве датчиков расхода и изменения уровней жидкостей и газов. Сущность: в кристалле датчика выполнены дополнительные сквозные отверстия. На поверхности отверстий выполнен диэлектрический слой, на который нанесен металлический слой. На обратной стороне кристалла выполнены дополнительные кон...

Изобретение относится к области микрокалориметрии и может быть использовано для исследования образцов жидкостей мелких и сверхмелких объемов в областях: микробиологии, генетике, медицинских учреждениях, химии, судебной медэкспертизе, в различных типах современных калориметров. Ячейка микрокалориметра содержит контейнер для размещения жидкого образца, термометр и нагреватель, при этом контейнер, т...