Сушков В.Я.

 Изобретение может быть использовано для получения прозрачных электродов и прозрачных электронагревательных элементов. Способ нанесения прозрачного проводящего покрытия включает реактивное магнетронное распыление и осаждение металлического индия с добавлением олова в атмосфере газовой смеси инертного газа и кислорода при одновременной ионной стимуляции процесса осаждения. Способ позволяет...