УОРД Дуглас Е. (US)

Изобретение относится к обработке керамических подложек, а более конкретно к полированию подложек. Описан способ обработки керамической подложки, содержащей алюминий, который включает в себя следующие операции: использование суспензии, введенной между подложкой и обрабатывающим инструментом, причем суспензия содержит абразив и добавку, содержащую оксофосфорное или органофосфорное соединение в конц...