Павлов Анатолий Юрьевич (RU)

Изобретение относится к тонкопленочной технологии, в частности к изготовлению гибридных интегральных микросхем (ГИМС). Технический результат - повышение качества защиты и электроизоляции поверхности топологического рельефа рисунка ГИМС, снижающее отказы из-за возможных замыканий на участках пересечения элементов рисунка навесными монтажными проводниками и преждевременной деградации физико-химическ...