Первушина Татьяна Федоровна (RU)

Сущность: тензопреобразователь давления содержит двухслойный упругий элемент в виде металлической мембраны, жестко соединенной с диэлектрической подложкой, на которой расположены тензорезисторы, соединенные в мостовую схему. Тензорезисторы выполнены из поликристаллического кремния, а диэлектрическая подложка выполнена из окиси алюминия, как монокристаллической, так и немонокристаллической структур...