Принц А.В.

 Использование: в технологии микро- и наноэлетроники, для изготовления защитной маски, необходимой для производства твердотельных приборов с характерными нанометровыми размерами элементов. Сущность изобретения: при изготовлении защитной маски для нанолитографии под монокристаллическим защитным слоем формируют вспомогательный слой, который селективно вытравливают под локальными областями за...

 Изобретение относится к медицине и биотехнологии, в частности к устройствам для осуществления инъекций, а именно к микроиглам, создаваемым технологиями, совместимыми с технологиями изготовления интегральных схем. Микроигла в интегральном исполнении содержит капиллярный канал и устройство для управления и/или анализа жидкости в капиллярном канале. Игла выполнена в виде трубки-свитка из нап...