Колпаков Анатолий Иванович (RU)

Изобретение относится к области электропитания высоковольтных устройств, формирующих потоки низкотемпературной плазмы, и может быть использовано в микроэлектронике и дифракционной оптике при производстве интегральных микросхем и дифракционных решеток. Данная задача решается за счет того, что в кабель электропитания генераторов низкотемпературной плазмы, содержащий фторопластовую оболочку в форме п...

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в авиационной и космической технике при производстве летательных аппаратов. Технический результат изобретения: повышение чувствительности, быстродействия, устранение эффекта размывания светового потока на поверхности фотоэлемента и повышение эффективности поглощения светового потока фотоэлементом. Сущность: просвечиван...

Изобретение относится к области измерительной техники. Способ заключается в том, что образец, площадь горизонтальных поверхностей которого много больше площади боковых сторон, бомбардируют потоком газоразрядной плазмы. При этом определяют величину отводимого тепла, а величину искомой температуры определяют по предлагаемой формуле. Технический результат: аналитическое определение температуры поверх...

Изобретение относится к области получения направленных потоков микросхем на активных и пассивных подложках и в дифракционной оптике низкотемпературной плазмы и генерации ионных пучков с большим током и может быть использовано в микроэлектронике при производстве интегральных микросхем, при производстве элементов дифракционной оптики. Многолучевой генератор газоразрядной плазмы содержит полый катод,...

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и элементов дифракционной оптики на криволинейных поверхностях. Фокусатор газоразрядной плазмы содержит катод, сетчатый анод, изоляцию и высоковольтный ввод. Катод и сетчатый анод выполнены с кривизной, равной кривизне поверхности обрабатываемого изделия, и р...

Изобретение относится к испарителю многокомпонентных растворов и может быть использовано для формирования тонких пленок двойных, тройных и более сложных растворов. Испаритель содержит заслонку, корпус в виде стакана, нагреватель, размещенный со стороны внешней поверхности корпуса. Внутренняя часть заслонки входит в полость корпуса и выполнена в виде конуса высотой 0,9H>h>d, где Н - высота вн...

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в диагностике параметров потоков заряженных частиц. Технический результат - упрощение и повышение быстродействия измерения характера распределения заряженных частиц по сечению потока. Способ определения параметров потока заряженных частиц заключается в том, что поток частиц газоразрядной плазмы разбивается выполненны...

Изобретение относится к измерительной технике в области микроэлектроники и предназначено для измерения чистоты поверхности подложек. Способ заключается, в том, что наносят каплю жидкости на поверхность исследуемой подложки. Далее освещают ее потоком света с равномерным распределением интенсивности по сечению светового потока. Потом фиксируют интенсивность светового потока фотоприемной матрицей,...

Изобретение относится к области получения направленных потоков низкотемпературной плазмы с большим током и может быть использовано в микроэлектронике при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и в дифракционной оптике при производстве элементов дифракционной оптики. Генератор широкоаппертурного потока газоразрядной плазмы содержит полый катод с основанием, установл...