Панчишка Анастасия Васильевна (UA)

Изобретение относится к технологическим процессам изготовления тонкопленочных резисторов. На керамическую подложку методом ионно-плазменного распыления наносят токопроводящий слой и проводят температурную обработку в атмосфере воздуха. Далее, не позднее чем через 12 часов после напыления полученные заготовки подвергают термообработке в воздушной среде при температуре от 630 до 720°C в тече...