PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Дракин Константин Алексеевич (RU)

Изобретатель Дракин Константин Алексеевич (RU) является автором следующих патентов:

Способ радиационно-индуцированного газового скалывания хрупких кристаллических материалов (варианты)

Способ радиационно-индуцированного газового скалывания хрупких кристаллических материалов (варианты)

Изобретение относится к области технологии производства тонких плоскопараллельных пластин из хрупких кристаллических материалов и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых устройств типа "полупроводник на изоляторе", а также поверхностных субмикронных углублений различного геометрического профиля при производстве микроэлектронных устройств. Технический результат изобретения заключ...

2297691