Мацак Андрей Николаевич (RU)

Изобретение относится к обработке пьезоэлектрических подложек, в частности касается прецизионной обработки пластин лантангаллиевого силиката ориентации (0, 138.5, 26.7) методом шлифовки и полировки. Изобретение может быть использовано при изготовлении пьезоэлектрических устройств, работающих на поверхностных акустических волнах. Способ включает двухстороннюю шлифовку с использованием водной суспен...