Швец Василий Александрович (RU)

Заявленное изобретение относится к эллипсометрам. Эллипсометр содержит осветитель, поляризатор, два измерительных, фазовый и амплитудный, оптически не связанных между собой, параллельных канала, причем указанные элементы оптически связаны с возможностью подачи светового пучка от осветителя к поляризатору, от поляризатора - на исследуемый образец и далее на измерительные каналы, снабжен размещенным...

Эллипсометр предназначен для оптико-физических измерений. В плече анализатора эллипсометра выполнен единый измерительный канал с функциями фазового и амплитудного каналов, с равным пропусканием поляризованных световых компонент. Канал содержит формирователь квазипараллельных световых пучков, компенсатор и поляризационный расщепитель пучков на поляризованные световые компоненты. Линейно поляризов...

Изобретение предназначено для оптико-физических измерений. Комплекс включает узел оптических измерений, систему нагрева исследуемых образцов, систему контроля температуры и вычислительный блок. Узел оптических измерений на базе быстродействующего эллипсометра снабжен микрообъективом для фокусировки зондирующего излучения на исследуемый образец, диафрагмой и светофильтром, предотвращающими попада...

Изобретение относится к измерительной технике, к способам оптико-физических измерений, базирующихся на эллипсометрии, и предназначено для контроля состава материала по толщине выращиваемых слоев с градиентом состава. Сущность изобретения: в способе контроля состава материала при формировании структуры в процессе формирования слоя осуществляют измерение эллипсометрических параметров Ψ и Δ, вычисля...