МОКЕЛЛА Майкл (US)

Изобретение относится к технологии тонкопленочных приборов. Сущность изобретения: способ получения фторполимерного слоя на тонкопленочном приборе включает: а) подачу фтормономера в газовой фазе и инициатора в газовой фазе свободной радикальной полимеризации к указанному тонкопленочному прибору, b) смешивание указанного фтормономера в газовой фазе и указанного инициатора в газовой фазе свободной ра...