ЭЙМОН Пол (US)

Изобретение относится к способу обновления израсходованной танталовой мишени для распыления и может найти применение в машиностроении при изготовлении изделий с покрытиями. Мишень из тантала обновляют после израсходования металла в некоторых зонах путем заполнения порошком этих зон и нагрева источником высокой энергии с высокой скоростью растрового сканирования для спекания порошка без полного пла...

Изобретение относится к восстановлению распыляемой мишени из тантала и может быть использовано в производстве интегральных схем и других электрических, магнитных и оптических продуктов. Способ позволяет получить химически чистый и уплотненный тантал при более низких производственных затратах. Способ включает загрузку частиц порошка тантала в бункер, подачу субстрата-мишени в лазерную аддитивную ка...