КОРДИНА Олле (US)

Данное изобретение относится к системе токоприемника для устройства, выполненного с возможностью обработки подложек и/или пластин. Система токоприемника имеет полость (1), которая служит камерой для обработки подложек и/или пластин и которая проходит в продольном направлении и ограничена верхней стенкой (2), нижней стенкой (3), правой боковой стенкой (4), и левой боковой стенкой (5). Верхняя стенк...

Изобретение относится к системе токоприемника для устройства обработки подложек и/или пластин, снабженной камерой обработки, ограниченной, по меньшей мере, двумя стенками и, по меньшей мере, одним нагревательным соленоидом. Система токоприемника содержит, по меньшей мере, один токоприемный элемент, ограниченный наружной поверхностью и выполненный из электрически проводящего материала, подходящего...