Сазанов Александр Петрович (RU)

Изобретение относится к оптическому приборостроению и касается конструкции цифрового формирователя панорамного изображения состыкованием снимков его участков. Технический результат заключается в повышении точности взаимоположения участков сканируемого изображения. Формирователь изображения содержит сканирующий микроскоп, оснащенный цифровой фотокамерой, контроллер, блок формирования изображения, б...

Изобретение относится к микро- и нанотехнологии и может быть использовано при нанесении и исследовании тонкопленочных структур, в особенности в производстве и контроле полупроводниковых микросхем методом сухого травления. Сущность изобретения: устройство для контроля процесса сухого травления структурообразующего слоя микросхемы в вакуумной камере содержит источник светового излучения и систему...

Изобретение относится к микро- и нанотехнологии и может быть использовано для неразрушающего исследования топологии интегральных микросхем. Сущность изобретения: способ контроля интегральной микросхемы (ИМС) предусматривает формирование ее физической модели в полупроводниковой структуре «кремний-на-изоляторе», тыльная поверхность которой выполнена прозрачной для инфракрасного излучения с последую...

Изобретения относятся к микроэлектронике и могут быть использованы в технологии конструирования полупроводниковых датчиков (ППД) ультрафиолетового излучения (УФИ). ППД УФИ содержит подложку, на которой последовательно расположены монтажный слой, выполненный из TiN, и фоточувствительный слой AlN, и электродную систему, включающую платиновый полупрозрачный в С-области УФИ выпрямляющий электрод, сое...