Гайдукова Инна Семеновна (RU)

Изобретение относится к растровой электронной микроскопии и, в частности, к электромагнитным фильтрам, предназначенным для пространственного разделения пучков первичных и вторичных электронов. Фильтр содержит восемь секторных электродов, расположенных внутри цилиндра, выполненного из диэлектрического и немагнитного материала. Электроды изготовлены из ферромагнитного материала в виде восьми цилиндр...