Царик Константин Анатольевич (RU)

Изобретение относится к способам формирования наномикросистем, содержащих углеродные нанотрубки. Способ формирования нано-(микро-) систем из углеродных нанотрубок, располагаемых по заданному рисунку, заключается в нанесении на подложку многослойного покрытия, содержащего каталитический слой. На каталитический слой наносят углеродный слой наноразмерной толщины, после чего выполнение по каталитическ...

Изобретение относится к устройствам точного позиционирования образца в сверхвысоком вакууме при помощи пьезоэлектрических двигателей и системы емкостных датчиков в установках с фокусированным ионным или электронным пучком, в которых формируются наноэлементы. Позиционирование образца относительно ионной пушки происходит не только с помощью грубых ультразвуковых двигателей, но и с помощью перемещен...

Изобретение относится к технологии получения тонких пленок полупроводниковых материалов и может быть использовано при создании полупроводниковых приборов, на основе гетеропереходов. Изобретение позволяет упростить технологию получения тонких пленок поликристаллического карбида кремния на монокристаллическом кремнии путем газофазной карбидизации монокристаллического кремния, улучшить качество пле...