Рембеза Екатерина Станиславовна (RU)

Использование: изобретение относится к газовому анализу, в частности к полупроводниковым газовым датчикам для контроля токсичных и взрывоопасных газов. Полупроводниковый чувствительный элемент представляет собой изолирующую подложку с предварительно нанесенными контактами, на которой методом реактивного магнетронного распыления составной мишени в атмосфере аргона и кислорода напыляют слой диоксида...

Способ улучшения параметров датчика газов заключается в последовательном формировании на диэлектрической подложке чувствительного слоя на основе диоксида олова, встречно-штыревых контактов к пленке, нагревателя, контактных площадок к чувствительному слою и нагревателю. После того как сформирован чувствительный элемент датчика, его поверхность облучают фиолетовым светодиодом с длиной волны около...

Изобретение относится к газовому анализу и может быть использовано для контроля токсичных и взрывоопасных газов и в тех областях науки и техники, где необходим анализ газовых сред. Полупроводниковый чувствительный элемент согласно изобретению представляет собой изолирующую подложку с предварительно нанесенными контактами, на которой нанесением пленкообразующего водно-спиртового раствора SnCl2...