Безуглый Борис Анатольевич (RU)

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано для измерения температуры поверхности элементов различных жидкостных микроустройств и тонкопленочных аппаратов. В способе используется контактный датчик температуры, внедряемый в подложку заподлицо в зоне падения пучка лазера, индуцирующего термокапиллярную конвекцию в слое жидкости. Понижение температуры в...