Агабеков Юрий Вартанович (RU)

Изобретение относится к ионно-плазменной технике, в частности к установке для нанесения многослойных нанометрических покрытий с периодической структурой, и может найти применение для модификации поверхностей материалов и изделий в инструментальном производстве, в машино- и приборостроении, и других областях. В центре вакуумной камеры расположено карусельное устройство для размещения изделий-подлож...