Портнов Сергей Леонидович

 Изобретение заключается в том, что на слой электронного фоторезиста, размещенный на подслое, выполненном из непрозрачного для оптического излучения материала, экспонируют электронную голограмму и затем проявляют. После проявления на полученный рельеф электронной голограммы наносят слой оптического фоторезиста, экспонируют аналоговую голограмму на участках оптического фоторезиста, не перек...