Ежков Анатолий Николаевич (RU)

Изобретение относится к области регулирования расхода технологических газов и может быть использовано в производстве изделий электронной техники. Ламинарный поток газа пропускают через нагреваемую трубку. Измеряют расход газа по разности температур терморезисторов, размещенных на трубке по обе стороны от нагревателя. Осуществляют температурную компенсацию сигнала расхода, преобразованного в цифров...