Черный Никита Львович (RU)

Изобретение может быть использовано в микроэлектронике. В трубчатую печь загружают шихту из твердого алюминия и фторида алюминия (III). Нагревают до 1000-1300°С с получением фторида алюминия (I), который затем подвергают взаимодействию с азотом, аммиаком или другим азотсодержащим газом на поверхности этой шихты при атмосферном давлении. Газ подают навстречу движению шихты. Способ обеспечив...