Вотенцев Василий Николаевич (RU)

Изобретение относится к устройству для нанесения многослойных оптических покрытий и может быть использовано при изготовлении лазерной техники при создании просветляющих и отражающих покрытий на торцевых поверхностях полупроводниковых лазеров. Устройство содержит две размещенные в вакуумной камере мишени и два формирователя ионного пучка. В вакуумной камере размещен многоканальный загрузочный порт...