Дектярев С.В.

 Изобретение может быть использовано для модификации поверхности изделий из металлов и сплавов. Цель изобретения повышение качества обработки и достигается путем формирования совпадающих по глубине профилей распределения примесей. Для этого подачей импульсного напряжения на катодный промежуток инициируют слаботочный вакуумно - дуговой разряд, затем подачей напряжения между анодом и коллект...

  Изобретение относится к технической физике, в частности к радиационному материаловедению, и может быть использовано для улучшения электрофизических, химических и механических свойств приповерхностных слоев металлов и сплавов, полупроводников и др. материалов. Цель изобретения расширение функциональных возможностей и повышение точности измерения дозы внедренной примеси при имплантации. Ус...

 Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделий и устройство для его осуществления относятся к области технической физики и предназначены для изменения свойств поверхностных слоев изделий путем ионной имплантации или плазменным осаждением покрытий в условиях импульсно-периодической ионной имплантации. Способ предусматривает поочередную обработку изделий плазмой дугово...