ХААС Дитер (DE)

Изобретение относится к установке для нанесения покрытия на подложку и может найти применение при производстве экранов дисплеев. Установка содержит напылительную камеру модульной конструкции. Каждый модуль 1 состоит из секции камеры 2, первой стойки 3, подвижно установленной в секции камеры 2 или на ней, и второй стойки 4, подвижно установленной на первой стойке 3. В то время как на первой стойке...